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平麵平晶的測量方法
日期：2026-03-22 18:04
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摘要：
平麵平晶是用於以乾涉法測量塊規，以及檢驗塊規、 量規、零件密封麵、測量儀器及測量工具量麵的研合性和平麵度的常用工具。具有兩個（或一個）光學測量平麵的正圓柱形或長方形的量規。光學測量平麵是表麵粗糙度數值和平麵度誤差都極小的玻璃平麵，它能夠產生光波乾涉條紋（見激光測長技術）。平晶有平麵平晶和平行平晶兩種。平麵平晶用於測量高光潔表麵的平麵度誤差，為用平麵平晶檢驗量塊測量麵的平麵度誤差。平行平晶的兩個光學測量平麵是相互平行的，用於測量兩高光潔表麵的平行度誤差，例如千分尺兩測量麵的平行度誤差.平晶用光學玻璃或石英玻璃製造。圓柱形平麵平晶的直徑通常為 45～150毫米。其光學測量平麵的平麵度誤差為:1級精度的為0.03～0.05微米；2級精度的為0.1微米。常見的長方形平麵平晶的有效長度一般為200毫米。
平晶是利用光波乾涉現象測量平麵度誤差的，故其測量方法稱為平晶乾涉法（圖2）,也稱技術光波乾涉法。測量時,把平晶放在被測表麵上,且與被測表麵形成一個很小的楔角 θ，以單色光源照射時會產生乾涉條紋。乾涉條紋的位置與光線的入射角有關。如入射光線垂直於被測表麵，且平晶與被測表麵間的間隙很小,則由平晶測量麵P反射的光線與被測表麵反射的光線在測量麵 P發生乾涉而出現明或暗的乾涉條紋。若在白光下，則出現彩色乾涉條紋。如乾涉條紋平直，相互平行,且分布均勻,則表示被測表麵的平麵度很好；如乾涉條紋彎曲，則表示平麵度不好。其誤差值為f= (v/ω)×(λ/2)λ為光波波長，白光的平均波長為0.58μm,ν為乾涉帶彎曲量，ω為乾涉帶間距。
