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平麵平晶的主要應用介紹
日期:2026-03-22 18:02
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摘要:
平行平晶是用於以乾涉法測量塊規,以及檢驗塊規、量規、零件密封麵、測量儀器及測量工具量麵的研合性和平麵度的 常用工具。具有兩個(或一個)光學測量平麵的正圓柱形或長方形的量規。光學測量平麵是表麵粗糙度數值和平麵度誤差都極小的玻璃平麵,它能夠產生光波乾涉條紋(見激光測長技術)。平晶有平麵平晶和平行平晶兩種。平麵平晶用於測量高光潔表麵的平麵度誤差,為用平麵平晶檢驗量塊測量麵的平麵度誤差。平行平晶的兩個光學測量平麵是相互平行的,用於測量兩高光潔表麵的平行度誤差,例如千分尺兩測量麵的平行度誤差.平晶用光學玻璃或石英玻璃製造。圓柱形平麵平晶的直徑通常為 45~150毫米。其光學測量平麵的平麵度誤差為:1級精度的為0.03~0.05微米;2級精度的為0.1微米。常見的長方形平麵平晶的有效長度一般為200毫米。
用途
用途
平行平晶是用於以乾涉法測量塊規,以及檢驗塊規、量規、零件密封麵、測量儀器及測平晶量工具量麵的研合性和平麵度的 常用工具。