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平行平晶的用途和測量方法
日期：2026-03-22 16:30
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摘要：
平晶有平麵平晶和平行平晶兩種。平麵平晶用於測量高光潔表麵的平麵度誤差，為用平麵平晶檢驗量塊測量麵的平麵度誤差。
用途：
平行平晶是用於以乾涉法測量塊規，以及檢驗塊規、量規、零件密封麵、測量儀器及測 平晶量工具量麵的研合性和平麵度的 常用工具。
適用於光學加工廠、廠礦企業計量室、精密加工車間、閥門密封麵現場檢測使用，也適用於高等院校、科學研究等單位做平麵度等檢測。
平行平晶的測量方法：
平晶是利用光波乾涉現象測量平麵度誤差的，故其測量方法稱為平晶乾涉法,也稱技術光波乾涉法。測量時,把平晶放在被測表麵上,且與被測表麵形成一個很小的楔角θ以單色光源照射時會產生乾涉條紋。乾涉條紋的位置與光線的入射角有關。如入射光線垂直於被測表麵，且平晶與被測表麵間的間隙很小,則由平晶測量麵P反射的光線與被測表麵反射的光線在測量麵 P發生乾涉而出現明或暗的乾涉條紋。若在白光下，則出現彩色乾涉條紋。如乾涉條紋平直，相互平行,且分布均勻,則表示被測表麵的平麵度很好；如乾涉條紋彎曲，則表示平麵度不好。其誤差值為f= (v/ω)×(λ/2)
