平行平晶的測量方法

日期：2026-03-22 13:26

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摘要：

平行平晶是利用光波乾涉現象測量平麵度誤差的，故其測量方法稱為平晶乾涉法,也稱技術光波乾涉法。在測量的時候,把平行平晶放在被測表麵上,且與被測表麵形成一個很小的楔角 θ，以單色光源照射時會產生乾涉條紋。乾涉條紋的位置與光線的入射角有關。如果入射光線垂直於被測表麵，並且平晶與被測表麵間的間隙很小,則由平晶測量麵P反射的光線與被測表麵反射的光線在測量麵 P發生乾涉而出現明或暗的乾涉條紋。若在白光下，則會出現彩色乾涉條紋。如果乾涉條紋平直，相互平行,並且分布均勻,則會表示被測表麵的平麵度很好；如果乾涉條紋彎曲，則會表示平麵度不好。其誤差值為f= (v/ω)×(λ/2)

λ為光波波長，白光的平均波長為0.58μm,ν為乾涉帶彎曲量，ω為乾涉帶間距。　　

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