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平行平晶的用途和测量方法
日期：2025-04-28 05:02
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摘要：
平晶有平面平晶和平行平晶两种。平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差，为用平面平晶检验量块测量面的平面度误差。
用途：
平行平晶是用于以干涉法测量块规，以及检验块规、量规、零件密封面、测量仪器及测 平晶量工具量面的研合性和平面度的 常用工具。
适用于光学加工厂、厂矿企业计量室、精密加工车间、阀门密封面现场检测使用，也适用于高等院校、科学研究等单位做平面度等检测。
平行平晶的测量方法：
平晶是利用光波干涉现象测量平面度误差的，故其测量方法称为平晶干涉法,也称技术光波干涉法。测量时,把平晶放在被测表面上,且与被测表面形成一个很小的楔角θ以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面，且平晶与被测表面间的间隙很小,则由平晶测量面P反射的光线与被测表面反射的光线在测量面 P发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下，则出现彩色干涉条纹。如干涉条纹平直，相互平行,且分布均匀,则表示被测表面的平面度很好；如干涉条纹弯曲，则表示平面度不好。其误差值为f= (v/ω)×(λ/2)
